液氮循环密闭回路输送系统
由于对无线电通讯设备需求的爆发性增长,多片装分子束外延(MBE)系统在全世界得到了发展和应用。工业界需求的持续增长推动了外延片的制造者们开始使用更大的设备得到更高的外延片产出量。这种新产生的分子束外延设备却带来了新的液氮循环方面的问题。
由于分子束外延 (MBE) 的工艺对真空的要求达到极致,需利用液氮(LN2)夹套将生长腔内的残余气体抽出。而如何将液氮输送到分子束外延 (MBE) 设备液氮(LN2)夹层中,一直是个难题,由于液氮的特性,一旦液氮进入低温夹套后,就不是在最理想的条件下。典型的分子束外延(MBE)“管道系统”通常就是由放在离设备尽可能近的175L杜瓦罐和用来将液氮连接到低温夹套的泡沫保温管组成。这样会使系统很脏、且伴有结冰。循环由从低温夹套中连续排出液氮来完成。这方法除了效率非常低以外,还无法解决两相流体(液和气)共同流动的问题。其中由液氮杜瓦罐出口阀处和低劣保温的输送管道产生的气化以及液氮从高压瞬间降低至大气时的气化所产生的大量气体,从而导致生长腔内的真空异常波动。
成都恒立低温设备有限公司特别设计出了为满足分子束外延 (MBE)设备所需求的液氮密闭循环系统。密闭循环系统可以使低温夹套内表面完全浸泡在液氮里面、最大限度地减少排气量并保持在低压力下的液氮温度恒定。全自动的系统非常安全,可靠。
系统组成部分主要包括:从液氮储槽开始到气液分离器之间输送液氮的真空多层绝热低温液体管道、气液分离器和一个或者多个低温夹套之间的供给和回流排气管道组成。(如下图)